非接觸(chu)式高精(jing)度激光測(ce)振(zhen)(zhen)儀可以通(tong)過顯微(wei)光學(xue)系(xi)統實現對微(wei)小物體(ti)的(de)振(zhen)(zhen)動測(ce)量，可以精(jing)確測(ce)量MEMS等微(wei)小結(jie)構元(yuan)器件的(de)振(zhen)(zhen)動和形貌，激光光斑達微(wei)米量級(ji)，并(bing)可通(tong)過顯微(wei)成(cheng)像系(xi)統實時(shi)觀察物體(ti)的(de)振(zhen)(zhen)動狀態（頻率、速(su)度、加速(su)度、位移）等多維信息。
高精(jing)(jing)度(du)激光(guang)測振(zhen)儀可(ke)以通過(guo)顯微(wei)(wei)光(guang)學系(xi)統實(shi)(shi)現對微(wei)(wei)小(xiao)物(wu)體(ti)的振(zhen)動(dong)測量(liang)，可(ke)以精(jing)(jing)確(que)測量(liang)MEMS等(deng)微(wei)(wei)小(xiao)結構元器件的振(zhen)動(dong)和形貌，激光(guang)光(guang)斑達(da)微(wei)(wei)米量(liang)級，并可(ke)通過(guo)顯微(wei)(wei)成像(xiang)系(xi)統實(shi)(shi)時觀(guan)察(cha)物(wu)體(ti)的振(zhen)動(dong)狀態（頻率、速(su)度(du)、加(jia)速(su)度(du)、位移）等(deng)多維信(xin)息。
掃(sao)描(miao)式(shi)(shi)激光測(ce)(ce)(ce)振儀LV-SC400通過在單點激光測(ce)(ce)(ce)振儀前面加(jia)兩個(ge)掃(sao)描(miao)鏡(jing)，運動(dong)控(kong)制系統(tong)(tong)控(kong)制掃(sao)描(miao)鏡(jing)的(de)偏轉角(jiao)度，來實(shi)現(xian)(xian)X、Y方向上的(de)掃(sao)描(miao)測(ce)(ce)(ce)振；配備(bei)攝像系統(tong)(tong)，可(ke)實(shi)現(xian)(xian)人機互動(dong)，配備(bei)軟件分(fen)析(xi)系統(tong)(tong)，可(ke)實(shi)現(xian)(xian)二維(wei)、三維(wei)動(dong)畫顯示及數據(ju)分(fen)析(xi)等(deng)。全場(chang)掃(sao)描(miao)式(shi)(shi)激光測(ce)(ce)(ce)振儀為物體(ti)結構振動(dong)特性可(ke)視化測(ce)(ce)(ce)量(liang)分(fen)析(xi)提供了先進(jin)的(de)非接觸式(shi)(shi)測(ce)(ce)(ce)量(liang)技(ji)術，能快(kuai)速掃(sao)描(miao)物體(ti)表面并(bing)靈活定義(yi)測(ce)(ce)(ce)量(liang)區域(yu)和測(ce)(ce)(ce)量(liang)點。
